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洁净实验室建设标准知多少

发布时间: 2021-08-09    作者:admin
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洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室.主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。

洁净室的等级:

世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

209E与209D等.大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。

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美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,.好的等级为Class 1,.差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。

洁净室控管项目:

1. 能除去空气中飘游的微尘粒子。

2. 能防止微尘粒子的产生。

3. 温度和湿度的控制。

4. 压力调节。

5. 有害气体的排除。

6. 结构物与隔间的气密性。

7. 静电防制。

8. 电磁干扰预防。

9. 安全因素的考量。

10. 节能之考量。

洁净室的构成:

洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室:

(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。

(3)隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。

(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。

(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。

洁净室之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:

A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;

B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;

C.吸湿性小;

D.为了维持室内湿度条件,热绝缘性要高